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集成电路制造设备术语（GB/T 40577-2021）（可在线浏览）

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发文字号：GB/T 40577-2021

颁布部门：国家市场监督管理总局,国家标准化管理委员会

法律效力：国家标准

应用分类：其他类

颁布日期：2021-10-11生效日期：2022-05-01

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